一种乙烯基三甲氧基硅烷低聚物的制备方法，包括如下步骤：1)将乙烯基三甲氧基硅烷投入反应器中，加入酸将其pH值调节至4～7之间；2)加入金属催化剂，搅拌使其分散均匀，金属催化剂的重量用量以纯金属计为10-1000ppm；3)滴加水在60-160℃下水解缩聚反应6-12小时，反应体系中水的总重量为乙烯基三甲氧基硅烷重量的0.05-0.15倍；4)蒸馏去除水解缩聚产生的副产品甲醇；5)加碱中和残留的酸，并经抽滤即制得。本发明工艺简单，易于实施。由本发明制备的乙烯基三甲氧基硅烷低聚物由于具有较高的沸点和闪点，故在应用时具有更好的安全性和可操作性，并且由于其在使用过程中释放出的醇比使用单链节乙烯基三甲氧基硅烷少得多，所以更具有环保性。