本发明属于一种用于实现大气压下空气中均匀辉光放电的方法，其利用20千赫兹交流电源和金属电极连接组成的外加等离子源制备等离子体，将等离子体喷口平行靠近高频电容型介质阻挡放电装置的气体间隙，使其与介质阻挡层的距离小于等于1厘米；在气流压力至少4个大气压，气体流量至少3立方米/分钟的气流的作用下，所述等离子体喷射方向对准气体间隙的中心，通过等离子体喷口喷入高频电容型介质阻挡放电装置的距离为2毫米～6毫米的气体间隙；升高高频电容型介质阻挡放电装置的电压至气体间隙击穿。该方法能够产生均匀的辉光放电，消除放电的细丝现象，其效果和均匀程度不受介质阻挡放电电源频率、功率、介质阻挡电极形状和面积大小的影响。