发明授权
CN100415693C 硅基衬底的涂层系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 硅基衬底的涂层系统
- 专利标题（英）： Coating system for silicon based substrates
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申请号： CN200610068252.3申请日： 2006-03-22
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公开(公告)号： CN100415693C公开(公告)日： 2008-09-03
- 发明人: T·巴蒂亚 , W·R·施密德特 , W·K·特雷维 , V·R·韦杜拉
- 申请人： 联合工艺公司
- 申请人地址： 美国康涅狄格州
- 专利权人： 联合工艺公司
- 当前专利权人： 联合工艺公司
- 当前专利权人地址： 美国康涅狄格州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 范赤; 段晓玲
- 优先权： 11/135857 2005.05.23 US
- 主分类号： C04B41/89
- IPC分类号： C04B41/89
摘要：
本发明提供了用于硅基衬底的粘合层系统，其中在所述硅基衬底和含硅金属的吸氧层之间提供了弹性模量为30-130GPa的柔性层。
公开/授权文献
- CN1868973A 硅基衬底的涂层系统 公开/授权日：2006-11-29
