本发明公开了一种多功能气体掺杂真空装置。机械泵经第一、二真空阀分别与大气和扩散泵连通，机械泵经第三、八真空阀与待充气系统连通，液氮俘获装置分别接扩散泵和经第四真空阀接第八真空阀，掺杂支路并联接有第九、十、十一真空阀后接第五真空阀，第五真空阀接第八真空阀，电离规和热偶规的一端接第八真空阀，另一端分别接复合真空计，U形管两端上的第六、七真空阀接第八真空阀。机械泵实现低真空；扩散泵抽至高真空；液氮俘获装置可吸附气体中的固体杂质于液氮俘获装置壁上，防止扩散泵中的高温硅油被污染；气体掺杂支路用于一种或多种气体的掺杂；电离规和热耦规，可测量10-5Pa～101Pa的气压；U型管中充硅油，可测量101Pa～104Pa的气压。