电子部件处理设备以及电子部件温度控制方法
摘要:
一种处理器(1)具有用于内部容纳推动器(30)的散热片(40)的内室(104),用于控制内室(104)中环境温度的温度控制装置(91),用于内部容纳在测试头(5)和内室(104)上的插槽的测试室(102),以及温度控制设备(90)用于控制测试室(102)中环境的温度。根据该处理器(1),能有效地进行温度控制,以便电子部件的温度在用于预定测试所设置的温度附近。
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