发明授权
CN100501320C 光学对准检测系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光学对准检测系统
- 专利标题(英): Optical alignment detection system
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申请号: CN200610151698.2申请日: 2003-08-15
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公开(公告)号: CN100501320C公开(公告)日: 2009-06-17
- 发明人: B·S·弗里茨 , P·罗伊蒂曼 , A·帕德马纳布汉
- 申请人: 霍尼韦尔国际公司
- 申请人地址: 美国新泽西州
- 专利权人: 霍尼韦尔国际公司
- 当前专利权人: 霍尼韦尔国际公司
- 当前专利权人地址: 美国新泽西州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 王忠忠
- 优先权: 10/225325 2002.08.21 US
- 分案原申请号: 038244306
- 主分类号: G01B11/27
- IPC分类号: G01B11/27 ; G01B11/00 ; G01N15/14
摘要:
本发明提供一种用于检测流过射流盒的流动通道的粒子的光学发射器,该光学发射器包括:两个以上光源(5a),所述光源(5a)沿一个轴以阵列方式定位,其中该轴跨越射流盒的流动通道,每个光源(5a)产生横截面具有束斑尺寸的输出光束(400a-400f);和光束形成装置(456),用于在轴向上增加两个以上光源(5a)中每个光源(5a)的束斑尺寸,以使每个光源(5a)的输出光束(400a-400f)至少部分地与相邻光源的输出光束重叠;其中该重叠的输出光束横跨射流盒的流动通道。
公开/授权文献
- CN1920479A 光学对准检测系统 公开/授权日:2007-02-28