• 专利标题: 用于紫外探测的有机-无机复合器件的制备方法
  • 专利标题(英): Making method of organic-inorganic combined part for the ultraviolet detection
  • 申请号: CN200710067954.4
    申请日: 2007-04-10
  • 公开(公告)号: CN100521281C
    公开(公告)日: 2009-07-29
  • 发明人: 吴刚韩延刚汪茫陈红征
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市浙大路38号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市浙大路38号
  • 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
  • 代理商 张法高
  • 主分类号: H01L51/48
  • IPC分类号: H01L51/48
用于紫外探测的有机-无机复合器件的制备方法
摘要:
本发明公开了一种有机—无机复合紫外探测器及其制备方法。其制备步骤为:1)在基底上涂覆一层阻隔材料,烘干,得到阻隔层;2)将钛酸四丁酯以1-50%的体积比浓度溶解于无水乙醇中,加入由去离子水、冰醋酸、无水乙醇组成的混合液,搅拌,得到二氧化钛溶胶;3)将二氧化钛溶胶旋涂或浸涂于阻隔层上,烘干,得到二氧化钛层;4)将有机层物质以1-50%的重量比浓度溶解于二氯甲烷或二氧六环中,加入成膜剂后,浸涂或旋涂于二氧化钛层上,烘干,得到有机层,制成紫外探测的有机—无机复合器件。本发明充分综合了有机材料价格低廉、结构易调、可大面积制作,以及无机材料稳定性好的优点,其工艺简单,易于实现,并可以有效地降低成本。
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