发明授权
CN100524584C 等离子体显示屏的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 等离子体显示屏的制造方法
- 专利标题（英）： Plasma display panel manufacturing method
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申请号： CN200480000197.3申请日： 2004-02-23
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公开(公告)号： CN100524584C公开(公告)日： 2009-08-05
- 发明人: 足立大辅
- 申请人： 松下电器产业株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人： 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 陈海红; 段承恩
- 优先权： 044556/2003 2003.02.21 JP
- 国际申请： PCT/JP2004/002058 2004.02.23
- 国际公布： WO2004/075234 JA 2004.09.02
- 进入国家日期： 2004-11-08
- 主分类号： H01J9/02
- IPC分类号： H01J9/02 ; H01J11/02
摘要：
本发明实现能够抑制由于附着在光掩模上的灰尘等在PDP的构造物中发生缺陷的PDP的制造方法，在同一个工艺中进行两次光刻法中的曝光，在第一次曝光与第二次曝光之间使光掩模(22)在曝光图形偏移的允许范围内移动，使光掩模(22)移动，与其移动前后相对应进行两次曝光，能够排除由附着在光掩模(22)上的灰尘(22b)遮挡曝光而成为未感光的区域(21a)，由此，能够良好地进行感光性Ag膏膜(21)的图形曝光。
公开/授权文献
- CN1836304A 等离子体显示屏的制造方法 公开/授权日：2006-09-20
