发明授权
- 专利标题： 成膜装置
- 专利标题（英）： Film forming apparatus
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申请号： CN200580007849.0申请日： 2005-03-10
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公开(公告)号： CN100529166C公开(公告)日： 2009-08-19
- 发明人: 米山信夫 , 中山孝 , 泷川志朗 , 梅泽隆男 , 石泽资右 , 高野博史
- 申请人： 新明和工业株式会社 , 株式会社大岛电机制作所
- 申请人地址： 日本国兵库县
- 专利权人： 新明和工业株式会社,株式会社大岛电机制作所
- 当前专利权人： 新明和工业株式会社,株式会社美姿把
- 当前专利权人地址： 日本国兵库县
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 衷诚宣
- 优先权： 070524/2004 2004.03.12 JP
- 国际申请： PCT/JP2005/004216 2005.03.10
- 国际公布： WO2005/087972 JA 2005.09.22
- 进入国家日期： 2006-09-11
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34
摘要：
本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。
公开/授权文献
- CN1930319A 成膜装置 公开/授权日：2007-03-14
IPC分类:
