发明授权
CN100533649C 离子源中的阴极和反阴极装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 离子源中的阴极和反阴极装置
- 专利标题（英）： Cathode and counter cathode arrangement in an ion source
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申请号： CN200410080877.2申请日： 2004-10-11
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公开(公告)号： CN100533649C公开(公告)日： 2009-08-26
- 发明人: A·J·默雷尔 , R·D·戈德堡
- 申请人： 应用材料有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料有限公司
- 当前专利权人： 应用材料有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 赵蓉民
- 优先权： 0324871.3 2003.10.24 GB
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J27/02
摘要：
本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。
公开/授权文献
- CN1610051A 离子源中的阴极和反阴极装置 公开/授权日：2005-04-27