发明授权
CN100563931C 起伏的垫修整器及其使用方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 起伏的垫修整器及其使用方法
- 专利标题（英）： Undulated pad conditioner and method of using same
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申请号： CN200580007719.7申请日： 2005-01-25
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公开(公告)号： CN100563931C公开(公告)日： 2009-12-02
- 发明人: 加里·M·帕尔姆格伦
- 申请人： 3M创新有限公司
- 申请人地址： 美国明尼苏达州
- 专利权人： 3M创新有限公司
- 当前专利权人： 3M创新有限公司
- 当前专利权人地址： 美国明尼苏达州
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘建功; 车文
- 优先权： 10/797,892 2004.03.09 US
- 国际申请： PCT/US2005/002310 2005.01.25
- 国际公布： WO2005/095059 EN 2005.10.13
- 进入国家日期： 2006-09-11
- 主分类号： B24D9/08
- IPC分类号： B24D9/08 ; B24B37/04 ; B24B53/007
摘要：
一种具有研磨盘(12)和起伏盘(10)的垫修整器以及使用该垫修整器的方法。起伏盘(10)具有至少一个凸出部分(26)和至少一个凹进部分(28)。研磨盘(12)可释放地固定到凹进部分(28)的至少一部分上，以形成起伏研磨表面(16)。起伏盘(10)允许改变垫修整器，以用于多种工艺和各种工件。
公开/授权文献
- CN1929956A 起伏的垫修整器及其使用方法 公开/授权日：2007-03-14
