具有增强的载体箔的箔型压力传感器
摘要:
一种压力传感器,包含至少一个第一载体箔,所述第一载体箔安装在支持元件上从而跨过所述压力传感器的有源区域。根据本发明,所述第一载体箔包含选自如下组的材料:聚醚醚酮、聚醚砜、聚苯基砜、聚砜、聚碳酸酯、共聚碳酸酯、聚苯醚、环烯烃聚合物、聚碳酸酯/丙烯腈丁二烯苯乙烯、聚碳酸酯/聚对苯二甲酸丁二酯、聚碳酸酯/聚对苯二甲酸乙二酯、聚苯醚/聚酰胺、或者它们的混合物。
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