发明授权
CN100580561C 防蚀显影组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题: 防蚀显影组合物
- 专利标题(英): Anticorrosive developing composition
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申请号: CN03147049.1申请日: 2003-07-16
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公开(公告)号: CN100580561C公开(公告)日: 2010-01-13
- 发明人: 松原将英 , 丸山岳人 , 樱井直人
- 申请人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人: 三菱瓦斯化学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 郭建新
- 主分类号: G03F7/32
- IPC分类号: G03F7/32 ; H01L21/027
摘要:
本发明的防蚀显影组合物含有:含1-10%重量的有机碱的水溶液,1-10%重量的糖化合物和1-10%重量的多元醇。该防蚀显影组合物在防止金属腐蚀和显影性能方面具有优异的特性,并适用于半导体元件和液晶显示器件的生产。
公开/授权文献
- CN1570772A 防蚀显影组合物 公开/授权日:2005-01-26
IPC分类: