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防蚀显影组合物
摘要:
本发明的防蚀显影组合物含有:含1-10%重量的有机碱的水溶液,1-10%重量的糖化合物和1-10%重量的多元醇。该防蚀显影组合物在防止金属腐蚀和显影性能方面具有优异的特性,并适用于半导体元件和液晶显示器件的生产。
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