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氧化镁蒸镀材料
Abstract:
本发明提供可以有效地用于通过电子束蒸镀法,形成作为交流型等离子显示板的电介质层保护膜有用的氧化镁膜的氧化镁蒸镀材料。它是含有0.01~6摩尔%范围的金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料。而且是含有氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料,换算成金属元素量分别为0.005摩尔%以上,并且换算成金属元素量,该总量为6摩尔%以下。
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