Invention Grant
CN100582320C 制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法
- Patent Title (English): Method for preparing diverse microcosmic appearance zinc oxide film
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Application No.: CN200610130120.9Application Date: 2006-12-13
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Publication No.: CN100582320CPublication Date: 2010-01-20
- Inventor: 靳正国 , 余可 , 刘晓新
- Applicant: 天津大学
- Applicant Address: 天津市南开区卫津路92号
- Assignee: 天津大学
- Current Assignee: 天津大学
- Current Assignee Address: 天津市南开区卫津路92号
- Agency: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- Agent 曹玉平
- Main IPC: C30B7/00
- IPC: C30B7/00 ; C30B28/04 ; C30B29/16 ; C30B29/62 ; C23C18/00 ; C01G9/02
Abstract:
本发明公开了一种制备不同微观形貌的氧化锌薄膜的方法，步骤为：(一)水溶液二步生长工艺①衬底表面晶种层的制备；②生长液中取向晶生长；(二)原位二次调节pH值：使用硝酸二次调节生长液pH值至9.8，得到ZnO管状晶阵列薄膜；或者使用25%氨水二次调节生长液pH值至9.2，得到表面绒毛状棒晶。本发明通过对水溶液pH值的原位二次调节的简单途径，完成了ZnO薄膜的微观形貌转变，可实现管状晶和表面绒毛状棒晶的制备。
Public/Granted literature
- CN1995481A 制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法 Public/Granted day:2007-07-11
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IPC分类:
