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发明授权
CN100582509C 轴承装置、载台装置及曝光装置 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 轴承装置、载台装置及曝光装置
  • 专利标题（英）： Bearing device and stage device, and exposure device
  • 申请号： CN200580035291.7
    申请日： 2005-10-07
  • 公开(公告)号： CN100582509C
    公开(公告)日： 2010-01-20
  • 发明人: 荒井大
  • 申请人： 株式会社尼康
  • 申请人地址： 日本东京都
  • 专利权人： 株式会社尼康
  • 当前专利权人： 株式会社尼康
  • 当前专利权人地址： 日本东京都
  • 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
  • 代理商 雒运朴; 徐谦
  • 优先权： 302699/2004 2004.10.18 JP
  • 国际申请： PCT/JP2005/018634 2005.10.07
  • 国际公布： WO2006/043434 JA 2006.04.27
  • 进入国家日期： 2007-04-16
  • 主分类号： F16C32/06
  • IPC分类号： F16C32/06 ;  F16C29/02 ;  H01L21/027
轴承装置、载台装置及曝光装置
摘要：
一种轴承装置，可确保充分的移动行程而无需连接供气用的管路等。该轴承装置具有包括衬垫部(73)的移动体(3)和固定体(2)。向衬垫部(73)供给介质来将移动体(3)可自由移动地支承在固定体(2)上。该轴承装置具有：设置于固定体(2)且供给前述介质的供给部(5)；联络供给部(5)和衬垫部(73)的联络部(75)；相应于移动体(3)相对固定体(2)的位置来开闭联络部(75)的开闭装置(6)。
摘要（英）：

A sufficient moving stroke is secured without connecting an air supply tube or the like. There are a movable body (3) having a pad section (73), and a fixed body (2). With a medium supplied to the pad section (73), the movable body (3) is movably supported by the fixed body (2). Provided are a supply section (5) disposed in the fixed body (2) and supplied with the medium, a communicating section (75) for establishing communication between the supply section (5) and the pad section (73), and an opening/closing device (6) for opening/closing the communicating section (75) according to the position of the movable body (3) relative to the fixed body (2).

公开/授权文献
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