发明授权
- 专利标题: 制造薄膜晶体管的方法及平板显示器装置
- 专利标题(英): Method of manufacturing thin film transistor and flat panel display device
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申请号: CN200510124763.8申请日: 2005-11-16
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公开(公告)号: CN100583487C公开(公告)日: 2010-01-20
- 发明人: 徐旼彻 , 具在本
- 申请人: 三星移动显示器株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道水原市
- 专利权人: 三星移动显示器株式会社
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道水原市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘红; 梁永
- 优先权: 10-2004-0093504 2004.11.16 KR
- 主分类号: H01L51/40
- IPC分类号: H01L51/40
摘要:
提供了一种制造有机薄膜晶体管(TFT)的方法、使用该方法制造的有机TFT以及包括该有机TFT的平板显示器装置。所述方法包括:在没有形成有机半导体层的衬底预定区域上涂覆润滑剂;在整个衬底上涂覆有机半导体层;加热被涂覆的衬底以熔化润滑剂;从衬底上移除形成在上述预定区域上的有机半导体层。根据所述方法,在不破坏衬底和有机半导体材料的情况下能够有效地构图有机半导体层。
公开/授权文献
- CN1790767A 制造薄膜晶体管的方法及平板显示器装置 公开/授权日:2006-06-21
IPC分类: