复合多模式等离子体表面处理装置
Abstract:
复合多模式等离子体表面处理装置,它涉及一种等离子体表面处理装置。针对复合表面处理工艺处理工件,工件需要在两种不同的设备上进行不同的工艺处理,工件在中间环节时暴露在大气中,形成不利的杂质,影响最终膜层性能的问题。磁控溅射靶(4)、真空阴极弧源(14)、金属离子注入源(11)、低能离子源(5)和泵组(13)固装在真空室(1)的外壁上,真空室(1)内固装有射频天线(6),中心电极(9)的上端穿过密封绝缘件(8)装在真空室(1)内,下端与脉冲偏压电源(10)连接,高压靶台(7)固定在中心电极(9)上,真空室上盖(2)与气动装置(12)连接。本发明通过多种粒子产生手段,工件可以获得较厚的膜层,也可以获得膜层种类多样化,提高膜基结合力,实现异型工件的表面处理和多种工艺复合。
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