Invention Grant
CN100587105C 蒸发源装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 蒸发源装置
- Patent Title (English): Evaporation source device
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Application No.: CN200580043015.5Application Date: 2005-10-20
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Publication No.: CN100587105CPublication Date: 2010-02-03
- Inventor: 福田辰男
- Applicant: 双叶电子工业株式会社
- Applicant Address: 日本千叶县
- Assignee: 双叶电子工业株式会社
- Current Assignee: 双叶电子工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本千叶县
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陶凤波
- Priority: 307474/2004 2004.10.21 JP
- International Application: PCT/JP2005/019746 2005.10.20
- International Announcement: WO2006/043723 JA 2006.04.27
- Date entered country: 2007-06-14
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24
Abstract:
一种蒸发源装置,包括:熔融部(24)、滞留部(21)、蒸发部(22)、喷射部(23)。对筒状发热体(241)、(211)通电而发热,使线状的蒸发材料(31)熔融。熔融的蒸发材料(32)从加热容器(242)移动到加热容器(212)并滞留。加热容器(212)的蒸发材料(32)从降下用开口(216)沿着降下用柱状体(224)降下。在其降下的过程中,蒸发材料(32)由于筒状发热体(221)的辐射热而蒸发。蒸发材料(32)的蒸气从喷嘴(232)向基板(61)喷射。筒状发热体(241)、(211)、(221)、(231)由石墨形成,当对电极(213)和(214)、(214)和(222)、(232)和(233)施加电压时,就会发热。
Public/Granted literature
- CN101080507A 蒸发源装置 Public/Granted day:2007-11-28
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IPC分类: