Invention Grant
CN100587105C 蒸发源装置 失效 - 权利终止

蒸发源装置
Abstract:
一种蒸发源装置,包括:熔融部(24)、滞留部(21)、蒸发部(22)、喷射部(23)。对筒状发热体(241)、(211)通电而发热,使线状的蒸发材料(31)熔融。熔融的蒸发材料(32)从加热容器(242)移动到加热容器(212)并滞留。加热容器(212)的蒸发材料(32)从降下用开口(216)沿着降下用柱状体(224)降下。在其降下的过程中,蒸发材料(32)由于筒状发热体(221)的辐射热而蒸发。蒸发材料(32)的蒸气从喷嘴(232)向基板(61)喷射。筒状发热体(241)、(211)、(221)、(231)由石墨形成,当对电极(213)和(214)、(214)和(222)、(232)和(233)施加电压时,就会发热。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0