- 专利标题： 在基于场效应晶体管的气体传感器中测量气体和/或最小化横向灵敏度的方法
- 专利标题（英）： Method for measuring gases and/or minimizing cross sensitivity in FET-based gas sensors
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申请号： CN200580012498.2申请日： 2005-04-22
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公开(公告)号： CN100588964C公开(公告)日： 2010-02-10
- 发明人: 马克西米里安·弗莱舍 , 乌韦·兰普 , 汉斯·梅科斯尼尔 , 罗兰德·普勒 , 阿尔弗雷德·希门
- 申请人： 迈克纳斯公司
- 申请人地址： 德国弗赖堡
- 专利权人： 迈克纳斯公司
- 当前专利权人： TDK-MICRONAS有限公司
- 当前专利权人地址： 德国弗赖堡
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 赵科
- 优先权： 102004019604.4 2004.04.22 DE
- 国际申请： PCT/EP2005/004318 2005.04.22
- 国际公布： WO2005/103668 DE 2005.11.03
- 进入国家日期： 2006-10-20
- 主分类号： G01N27/414
- IPC分类号： G01N27/414
摘要：
一种用于在基于FET的气体传感器中测量气体的方法，该气体传感器的传感器信号通过敏感层上的逸出功的变化产生，其中除了读取所述逸出功变化之外还分析该敏感层的电容变化。
公开/授权文献
- CN1973201A 在基于场效应晶体管的气体传感器中测量气体和/或最小化横向灵敏度的方法 公开/授权日：2007-05-30
