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半导体器件及其制作方法
摘要:
一种半导体器件(100),包括:元件形成区,其具有在其中形成的栅电极(108);和周围区,其形成在元件形成区的外围中并且具有在其中形成的元件隔离区(118)。在半导体衬底(101)的主表面上,形成平行pn层,该平行pn层具有在其中交替地排列的N型漂移区(104)和P型柱区(106)。在周围区中,形成场电极(120),但是场电极(120)不形成在P型柱区(106)上。周围区中的P型柱区(106)形成有大于或等于元件形成区中的P型柱区(106)的深度。
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