发明授权
CN100595920C 半导体器件及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体器件及其制作方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and method of fabricating the same
-
申请号: CN200610005865.2申请日: 2006-01-11
-
公开(公告)号: CN100595920C公开(公告)日: 2010-03-24
- 发明人: 二宫仁 , 三浦喜直
- 申请人: 恩益禧电子股份有限公司
- 申请人地址: 日本神奈川
- 专利权人: 恩益禧电子股份有限公司
- 当前专利权人: 瑞萨电子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 穆德骏; 陆锦华
- 优先权: 2005-003803 2005.01.11 JP
- 主分类号: H01L27/04
- IPC分类号: H01L27/04 ; H01L21/822
摘要:
一种半导体器件(100),包括:元件形成区,其具有在其中形成的栅电极(108);和周围区,其形成在元件形成区的外围中并且具有在其中形成的元件隔离区(118)。在半导体衬底(101)的主表面上,形成平行pn层,该平行pn层具有在其中交替地排列的N型漂移区(104)和P型柱区(106)。在周围区中,形成场电极(120),但是场电极(120)不形成在P型柱区(106)上。周围区中的P型柱区(106)形成有大于或等于元件形成区中的P型柱区(106)的深度。
公开/授权文献
- CN1815739A 半导体器件及其制作方法 公开/授权日:2006-08-09
IPC分类: