Invention Grant
CN100595925C NAND闪存器件及其制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: NAND闪存器件及其制造方法
- Patent Title (English): Nand flash memory device and method of fabricating the same
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Application No.: CN200610101580.9Application Date: 2006-07-12
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Publication No.: CN100595925CPublication Date: 2010-03-24
- Inventor: 宋在爀 , 崔定爀
- Applicant: 三星电子株式会社
- Applicant Address: 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416番地
- Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee Address: 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416番地
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 林宇清; 谢丽娜
- Priority: 10-2005-0062792 2005.07.12 KR
- Main IPC: H01L27/115
- IPC: H01L27/115 ; H01L21/8247
Abstract:
一种NAND闪存器件,包括半导体衬底、字线、第一和第二选择线、隧道绝缘层和选择栅绝缘层。半导体衬底包括存储晶体管区和选择晶体管区。字线排列在半导体衬底的存储晶体管区,以及选择线排列在半导体衬底的选择晶体管区。隧道绝缘层插入字线和半导体衬底之间,以及选择栅绝缘层插入选择线和半导体衬底之间,并具有比隧道氧化物层更薄的厚度。同样,选择栅绝缘层在其中心区域具有比其边缘部分更薄的厚度。
Public/Granted literature
- CN1897283A NAND闪存器件及其制造方法 Public/Granted day:2007-01-17
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IPC分类: