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NAND闪存器件及其制造方法
Abstract:
一种NAND闪存器件,包括半导体衬底、字线、第一和第二选择线、隧道绝缘层和选择栅绝缘层。半导体衬底包括存储晶体管区和选择晶体管区。字线排列在半导体衬底的存储晶体管区,以及选择线排列在半导体衬底的选择晶体管区。隧道绝缘层插入字线和半导体衬底之间,以及选择栅绝缘层插入选择线和半导体衬底之间,并具有比隧道氧化物层更薄的厚度。同样,选择栅绝缘层在其中心区域具有比其边缘部分更薄的厚度。
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