半导体激光器件及其制造方法
摘要:
一种半导体激光器件(1),包括:具有主面(3a)的衬底(3);在其中主面(3a)延伸的方向上具有在衬底(3)上形成的氮化镓外延层(2a)和低折射率材料(2b)的光子晶体层(7),该低折射率材料(2b)具有低于外延层(2a)的折射率;衬底(3)上形成的n-型敷层(4);衬底(3)上形成的p-型敷层(6);插入n-型敷层(4)和p-型敷层(6)之间且当往其中注入载流子时发光的有源层(5);以及覆盖直接位于光子晶体层(7)上的区域的GaN层(12)。因此,可以在没有熔化工序的条件下,制造该半导体激光器件。
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