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基板加热与固定装置
摘要:
本发明涉及一种基板加热与固定装置,其包括:支撑板,内部设置有加热器件,用以支撑并加热基板,该支撑板厚度方向上设置有通气孔;真空层,设置于支撑板远离基板的一侧,其内部设置有一个腔体,该腔体与抽真空装置相连,支撑板的通气孔与该真空层的腔体连通;隔热层,设置于真空层远离支撑板的一侧,防止支撑板产生的热量扩散。由于支撑板内部设置有加热器件,可以将基板在喷墨前预热,墨水喷涂到已预热的基板上后,墨水中的溶剂就会蒸发掉一部分,再利用其它方法将墨水干燥所需的时间就会比现有技术缩短,从而提高制造彩色滤光片的速度。
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