发明公开
- 专利标题: 气体激光起振器
- 专利标题(英): Gas laser oscillator
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申请号: CN200710112508.0申请日: 2007-06-19
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公开(公告)号: CN101093927A公开(公告)日: 2007-12-26
- 发明人: 江川明 , 小林英二 , 渡边武
- 申请人: 发那科株式会社
- 申请人地址: 日本山梨县
- 专利权人: 发那科株式会社
- 当前专利权人: 发那科株式会社
- 当前专利权人地址: 日本山梨县
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强
- 优先权: 2006-172945 2006.06.22 JP
- 主分类号: H01S3/00
- IPC分类号: H01S3/00 ; H01S3/036 ; H01S3/097 ; H01S3/104 ; H01S3/134
摘要:
本发明涉及一种气体激光起振器。激发激光气体产生激光的气体激光起振器包括:激光气体用的循环通道;使激光气体在循环通道中循环的循环单元;检测在循环通道内的激光气体的压力的压力检测单元;检测驱动循环单元的功率的功率检测单元;对激光气体的每一种类存储在循环单元稳定运转时的激光气体的压力和循环单元的功率的关系的存储单元;以及激光气体判定单元。激光气体判定单元基于在循环单元稳定运转时检测出的激光气体的压力及循环单元的功率与存储在存储单元中的激光气体的压力及循环单元的功率之间的关系,判定激光气体的种类。由此,不用产生放电电压,判定激光气体。在不能判定激光气体的场合,也可以判断在激光起振器上产生了异常。
公开/授权文献
- CN100539329C 气体激光起振器 公开/授权日:2009-09-09