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发明授权
CN101110382B 静电卡盘加热器 有权

静电卡盘加热器
摘要：
本发明提供了载置于衬底载置面上的衬底的高温下的解吸应答性优异的静电卡盘加热器。该静电卡盘加热器的特征是，在氧化铝烧结体(41)的上面和下面分别涂布含有粘合剂的导电糊(43、45)，分别印刷静电电极和加热器电极，然后对该氧化铝烧结体(41)进行煅烧，在静电电极上侧配置氧化铝粉末(49)，在加热器电极下侧配置氧化铝粉末(47)的状态下，将这些氧化铝粉末(47、49)和氧化铝烧结体(41)加压成形，进行加压烧成，形成基体，将电介质层中的静电电极附近的导电性物质的扩散面积率设定为0.25％以下。
摘要（英）：

An electrostatic chuck heater including a base which is formed by: applying conductive paste containing a binder to upper and lower surfaces of an alumina sintered body to print an electrostatic electrode and heater electrode; calcining the alumina sintered body; arranging alumina powder above the electrostatic electrode and alumina powder below the heater electrode; and pressing the alumina powder and alumina sintered body in the above state for pressure sintering. The diffusion area ratio of the conductive material near the electrostatic electrode in the dielectric layer is set not more.

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