一种微量电荷的测量装置及方法
Abstract:
本发明提供了一种测量微量电荷的装置以及利用该装置测量微量电荷的方法。基于传统的场效应管进行改进,源极(5)和漏极(6)之间没有栅极,电介质层(2)中掺入75%Qid至125%Qid之间的电荷数量,探针(4)固定在电介质层(2)上,其中,本发明涉及的测量微量电荷的方法,测量步骤包括:利用本发明装置,在栅极(7)和衬底(1)之间加电压;在源极(5)和漏极(6)之间加固定的偏置电压,测出源极(5)和漏极(6)之间的电流;加入反应物与探针(4),反应释放出被测电荷;调整栅极(7)和衬底(1)之间的电压偏置,以保证源极(5)和漏极(6)之间的电流不变;测量栅极(7)偏置电压的变化量;计算出电介质层(2)表面的微量电荷。
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