通过激光烧蚀加工材料的方法和通过该加工方法加工的材料
Abstract:
为了易于控制激光脉冲宽度和进行高精度加工,依照本发明的通过激光烧蚀加工材料的方法的特征为:当采用沿水平轴以皮秒描绘的激光脉冲宽度和沿垂直轴以J/cm2描绘的烧蚀阈值的双对数图表示激光脉冲宽度与烧蚀阈值之间的关系时,具有双对数图显示出斜度不大于0.5的直线形状的线的区域的材料通过具有在该区域内的激光脉冲宽度的脉冲激光束来加工。
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