带有挠曲轴的显微镜载物台
摘要:
一种带有挠曲轴的显微镜载物台,可展示出可预测的挠曲特性和有限交叉耦合平移。接近于Z执行器的Z平台的Z运动可基本上为线性,同时该Z平台的远侧可被允许绕连接有挠曲部件的铰链轴旋转。该显微镜载物台包括设置为基本上与光轴垂直的平台(120);可操作地与所述平台的近侧相连接的执行器(130),并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧;以及可操作地与所述平台的远侧相连接的挠曲部件(160),并且操作为允许所述平台绕铰链轴(170)旋转。
公开/授权文献
0/0