发明公开
CN101142527A 含有有机微粒的感光性组合物
无效 - 撤回
- 专利标题: 含有有机微粒的感光性组合物
- 专利标题(英): Photosensitive composition containing organic fine particles
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申请号: CN200680008731.4申请日: 2006-03-16
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公开(公告)号: CN101142527A公开(公告)日: 2008-03-12
- 发明人: 富田康生 , 古岛康志 , 穐本和彦 , 近间克己 , 日高基彦 , 大土井启祐
- 申请人: 国立大学法人电气通信大学 , 日产化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 国立大学法人电气通信大学,日产化学工业株式会社
- 当前专利权人: 国立大学法人电气通信大学,日产化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 段承恩; 田欣
- 优先权: 079352/2005 2005.03.18 JP; 092988/2005 2005.03.28 JP; 337416/2005 2005.11.22 JP
- 国际申请: PCT/JP2006/305246 2006.03.16
- 国际公布: WO2006/101003 JA 2006.09.28
- 进入国家日期: 2007-09-18
- 主分类号: G03F7/004
- IPC分类号: G03F7/004 ; G03F7/027 ; G03H1/02
摘要:
本发明的目的在于提供一种感光性组合物,其光散射损失低、可以持久形成衍射效率高的全息图,以及提供图案的形成方法。本发明通过提供下述感光性组合物以及使用了该组合物的图案形成方法而解决了上述课题,所述感光性组合物的特征在于,在用于通过图案曝光来形成图案的感光性组合物中,含有(a)聚合性化合物、(b)光聚合引发剂、和(c)有机微粒。
IPC分类: