发明授权

用于物镜的倾斜调节机构
摘要:
本发明涉及一种倾斜调节机构,其调节多个物镜中的至少一个物镜的倾斜,以使所述多个物镜具有相同的倾斜状态。该倾斜调节机构包括:孔径构件,作为倾斜调节目标的物镜固定到该孔径构件上;以及透镜保持器,该孔径构件从可滑动状态固定到该透镜保持器上以进行倾斜调节。设置有一滑动表面,作为该孔径构件相对于该透镜保持器滑动运动的表面,该滑动表面是球面的一部分,该球面的中心为该物镜的主点或主点的相邻点;并且在与该滑动表面接触的三个突起处进行该滑动运动。本发明能够减小多个物镜的相对倾斜量并进行正确的光束控制。
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