发明授权
- 专利标题： 一种硼磷硅玻璃膜回流方法
- 专利标题（英）： Boron-phosphorus-silicon glass film reflow method
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申请号： CN200610116167.X申请日： 2006-09-18
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公开(公告)号： CN101148326B公开(公告)日： 2011-07-13
- 发明人: 常建光 , 周永昌
- 申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市张江路18号
- 专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市张江路18号
- 代理机构： 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 王洁
- 主分类号： C03C17/02
- IPC分类号： C03C17/02
摘要：
一种硼磷硅玻璃膜(BPSG)回流方法，包括如下步骤：将沉积了硼磷硅玻璃膜的晶片装入炉管；通过干回流(Dry Reflow)软化硼磷硅玻璃膜；通过湿回流(Wet Reflow)填充硼磷硅玻璃膜中的空隙。本发明先采用干回流再采用湿回流工艺有效克服仅采用其中一种方法回流所产生的空洞或是非正常薄膜，并且可以有效缩短回流制程的时间，在较低的温度下实现硼磷硅玻璃膜回流。
公开/授权文献
- CN101148326A 一种硼磷硅玻璃膜回流方法 公开/授权日：2008-03-26
