空间滤光片
Abstract:
一种经蚀刻的端面单横向模式半导体光子器件,它是通过在经蚀刻的端面上沉积防反射涂层并以空间上受控制的方式沉积反射率修改涂层以修改所发射的光束的空间性能而制造的。
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