发明授权
CN101192596B 具有对准标记的半导体器件以及显示设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 具有对准标记的半导体器件以及显示设备
- 专利标题(英): Semiconductor device and display device having alignment mark
-
申请号: CN200710196144.9申请日: 2007-11-28
-
公开(公告)号: CN101192596B公开(公告)日: 2012-06-13
- 发明人: 堀井秀明
- 申请人: 瑞萨电子株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川
- 专利权人: 瑞萨电子株式会社
- 当前专利权人: 瑞萨电子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 钟强; 谷惠敏
- 优先权: 2006-319568 2006.11.28 JP
- 主分类号: H01L23/544
- IPC分类号: H01L23/544
摘要:
一种半导体器件(10),其包括半导体衬底(16)和对准标记(1)。对准标记(1)提供于半导体衬底(16)上并且可光学检测。对准标记(1)包括亮区(101)和暗区(102)。亮区(101)输出从半导体衬底(16)表面反射的光。暗区(102)包括金属布线(14),输出从金属布线(14)表面反射的光,并且其亮度低于亮区的亮度。
公开/授权文献
- CN101192596A 具有对准标记的半导体器件以及显示设备 公开/授权日:2008-06-04
IPC分类: