图案形成方法以及电路基板
Abstract:
本发明提供一种能够在短时间内形成高密度·高精细的图案的图案形成方法以及电路基板。用设置于载物台(24)的橡胶加热器(Rubber Heater)(H)加热印制电路基板(green sheet)(4G)。接着,将印制电路基板(4G)加热控制于喷出时的功能液的温度以上且小于液滴的沸点的温度。在该已被加热的条件下,从液滴喷头(30)向印制电路基板(4G)上喷出液滴。着落于印制电路基板(4G)的液滴不发生暴沸而被迅速地干燥。
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