提供一种用于预扫描载片的再定位样品中目标的方法，所述载片包含分别具有对应的存储坐标和存储图像的确定目标，所述目标相互映射。将该载片定位在显微镜载物台上，可视显示所述目标的存储图像，并且选择靶向目标。将载片移动到与靶向目标的坐标对应的估计坐标位置，并且获取样品的视场图像以与靶向目标的存储图像比较。如果目标在图像中，则确定所述定位目标的实际坐标和对应目标的存储坐标之间的偏移。然后，通过所述载物台从估计坐标位置处根据所述偏移来移动载片，以使目标位于图像中心。还提供相关的系统和方法。