一种微阵列扫描仪的扫描运动平台
Abstract:
本发明涉及一种用于高速扫描微阵列芯片的扫描运动平台。该平台使用创新的弹性薄金属带与带轮线性驱动装置将电机的转动转化为线性运动,来驱动扫描方向上载物台及微阵列芯片的运动。本发明中的平台具有高速、高分辨率和低回程误差的特点。此外,该平台结构简单,成本低廉。
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