发明公开
- 专利标题： 微机械传感器、传感器阵列和方法
- 专利标题（英）： Micromechanical sensor, sensor array and method
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申请号： CN200680024868.9申请日： 2006-07-04
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公开(公告)号： CN101218503A公开(公告)日： 2008-07-09
- 发明人: H·瑟帕 , K·塔普拉 , J·土普瑞尼恩 , T·玛蒂拉 , A·阿拉斯塔洛 , H·海勒 , A·欧加
- 申请人： 芬兰国立技术研究中心
- 申请人地址： 芬兰埃斯堡市
- 专利权人： 芬兰国立技术研究中心
- 当前专利权人： 芬兰国立技术研究中心
- 当前专利权人地址： 芬兰埃斯堡市
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 李玲
- 优先权： 20050739 2005.07.08 FI
- 国际申请： PCT/FI2006/000240 2006.07.04
- 国际公布： WO2007/006843 EN 2007.01.18
- 进入国家日期： 2008-01-08
- 主分类号： G01N29/02
- IPC分类号： G01N29/02 ; G01N29/22 ; B81B7/04
摘要：
本发明涉及适用于分析液态样品的微机械传感器以及这类传感器的阵列。本发明也关注适用于检测液态样品的方法以及适用于微机械分析液相样品的纵向体声波的使用。这种传感器包括主体以及与主体分开的平面波导部分。至少一个电－机械换能器元件用于响应于电激励而将纵向体声波激励到波导部分，并还用于将声波转换成电信号。波导部分具有样品接受区域，可以将样品引入到它上面。借助于本发明，能够提高微机械液态传感器的灵敏度。
公开/授权文献
- CN101218503B 微机械传感器、传感器阵列和方法 公开/授权日：2012-01-04
