金属-陶瓷复合基板及其制造方法
摘要:
提供一种具备良好的散热性的金属-陶瓷复合基板、和以低成本制造该复合基板的方法。是由金属基板(11)、形成在金属基板(11)上的陶瓷层(12)、形成在陶瓷层(12)上的电极层(13)、和形成在电极层(13)上的钎焊层(14)构成的金属-陶瓷复合基板(10),陶瓷层(12)由陶瓷薄膜构成。如果将陶瓷层(12)用氮化铝薄膜形成,则能够得到散热特性良好的电子电路用金属-陶瓷复合基板(10)。
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