图像传感器像素及其制造方法
摘要:
提供了一种CMOS图像传感器中像素的光电二极管的新型结构及其制造方法。所述光电二极管利用一个光掩模而形成,从而减少了掩模数量,简化了制造工艺。此外,构成光电二极管的两个导电层得以自对准,从而无需连接光电二极管与传输晶体管的制造工艺。因而,在传输晶体管的栅极下部产生的沟道效应问题得以解决,从而可以制造一种改进的像素。
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