发明公开
- 专利标题: 图像传感器像素及其制造方法
- 专利标题(英): Image sensor pixel and fabrication method thereof
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申请号: CN200680028479.3申请日: 2006-08-11
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公开(公告)号: CN101238583A公开(公告)日: 2008-08-06
- 发明人: 朴哲秀 , 李道永
- 申请人: (株)赛丽康 , 朴哲秀
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: (株)赛丽康,朴哲秀
- 当前专利权人: (株)赛丽康,朴哲秀
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余朦; 方挺
- 优先权: 10-2005-0074541 2005.08.13 KR
- 国际申请: PCT/KR2006/003164 2006.08.11
- 国际公布: WO2007/021106 EN 2007.02.22
- 进入国家日期: 2008-02-02
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
提供了一种CMOS图像传感器中像素的光电二极管的新型结构及其制造方法。所述光电二极管利用一个光掩模而形成,从而减少了掩模数量,简化了制造工艺。此外,构成光电二极管的两个导电层得以自对准,从而无需连接光电二极管与传输晶体管的制造工艺。因而,在传输晶体管的栅极下部产生的沟道效应问题得以解决,从而可以制造一种改进的像素。
公开/授权文献
- CN101238583B 图像传感器像素及其制造方法 公开/授权日:2010-05-19
IPC分类: