光学发送/接收装置,双向光学发送/接收模块及其制造方法
摘要:
本发明提供了一种性能优良的双向光学发送/接收模块等,所述双向光学发送/接收模块包括多路分解装置,该多路分解装置使用字母V形光波导以及多层介质滤光片。在多层介质膜形成处形成端面,以及光学模块的分离以几个单独的步骤完成,且在字母V形光波导的交叉部分处的、多层介质滤光片形成在其上的端面通过干蚀刻形成以实现很高的平滑度。此外,光学模块的切割面设置在与端面距离至少3μm的位置处。这样,平滑的端面被防止出现由光学元件分离步骤引起的切割面的粗糙度,且多层介质滤光片形成在所述端面上。
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