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用于镀膜操作的固定装置
摘要:
本发明涉及一种用于物理气相沉积镀膜操作的固定装置,其包括:支撑结构14,其包括圆形底部元件10、相对于圆形底部元件10的圆形顶部元件11以及连接圆形顶部元件11到圆形底部元件10的多个结构元件12;垂直环列于所述支撑结构14外周且形成圆柱状结构的多个面板元件13;所述面板元件13包括用于固持待镀膜工件19和35的多个孔,所述孔设置于所述面板元件13上,使得所述工件19和35在交错垂直方向排列。本发明也涉及一种使用本发明的固定装置对多个工件19和35,诸如燃气涡轮压缩机桨片和叶片同时镀抗蚀膜的方法。
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