发明授权
CN101243203B 用于镀膜操作的固定装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于镀膜操作的固定装置
- 专利标题(英): Fixture for use in a coating operation
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申请号: CN200680029508.8申请日: 2006-07-11
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公开(公告)号: CN101243203B公开(公告)日: 2010-11-24
- 发明人: D·夏普 , A·弗伊尔施泰因 , S·凯恩
- 申请人: 普莱克斯S.T.技术有限公司
- 申请人地址: 美国康涅狄格州
- 专利权人: 普莱克斯S.T.技术有限公司
- 当前专利权人: 普莱克斯S.T.技术有限公司
- 当前专利权人地址: 美国康涅狄格州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘冬; 韦欣华
- 优先权: 60/698,245 2005.07.12 US; 11/446,380 2006.06.05 US
- 国际申请: PCT/US2006/027033 2006.07.11
- 国际公布: WO2007/008972 EN 2007.01.18
- 进入国家日期: 2008-02-13
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; C23C4/04
摘要:
本发明涉及一种用于物理气相沉积镀膜操作的固定装置,其包括:支撑结构14,其包括圆形底部元件10、相对于圆形底部元件10的圆形顶部元件11以及连接圆形顶部元件11到圆形底部元件10的多个结构元件12;垂直环列于所述支撑结构14外周且形成圆柱状结构的多个面板元件13;所述面板元件13包括用于固持待镀膜工件19和35的多个孔,所述孔设置于所述面板元件13上,使得所述工件19和35在交错垂直方向排列。本发明也涉及一种使用本发明的固定装置对多个工件19和35,诸如燃气涡轮压缩机桨片和叶片同时镀抗蚀膜的方法。
公开/授权文献
- CN101243203A 用于镀膜操作的固定装置 公开/授权日:2008-08-13
IPC分类: