发明授权

流体控制装置
摘要:
本发明所涉及的流体控制装置,其特征在于,具备:通过使流道的开口面积变化来对流体的流量进行控制的流体控制阀;对流体的流量进行计测并将该流量的计测值变换为电信号并输出的流量计测器;和控制部,其基于来自该流量计测器的所述电信号与设定流量的偏差,将用于对所述流体控制阀的开口面积进行控制的指令信号,向所述流体控制阀或者操作该流体控制阀的设备输出。
公开/授权文献
0/0