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薄硅中的光交叉区
摘要:
一种装置使用在SOI结构中的图案化几何结构,所述装置用于提供光交叉区,所述光交叉区在基于SOI结构中形成的波导之间,选择其以降低信号重叠区域中的串扰效果。优选地,光信号固定以沿正交方向传播(或具有不同的波长)以最小化串扰效果。所述SOI结构的几何结构被图案化,包括预定的锥和/或反射表面,以导引/调整传播的光信号。可形成在所述光交叉区域内的图案化波导区域,其包括叠加的多晶硅段,以进一步指引所述传播的束,以及改善所述交叉装置的耦合效率。
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