真空涡轮分子泵
摘要:
本发明涉及一种真空涡轮分子泵(10),其通过具有定子线圈和永磁电机转子的无电刷驱动电机(16)驱动。电机转子在旋转时产生与旋转方向相反的电动力。设有与定子线圈连接的电机控制装置(22),其从供电电压产生引入定子线圈的电流。此外设有旋转频率调节器(32),其将驱动电机(16)的旋转频率(f)限制于额定旋转频率(fN)。设有电源(20),其与电机控制装置(22)连接并提供恒定的直流电压作为电机控制装置(22)的供电电压。电源(20)设计成使得恒定的供电电压(UV)这样低地选择,从而在极限旋转频率(fG)时电动力等于由电机控制装置(22)和定子线圈可产生的最大驱动力,其中极限旋转频率(fG)小于额定旋转频率(fN)的1.3倍。由此电机功率受到限制并将驱动电机(16)的旋转频率在物理上可靠地限制于极限旋转频率(fG)。
公开/授权文献
0/0