发明公开
- 专利标题: 真空涡轮分子泵
- 专利标题(英): Vacuum turbomolecular pump
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申请号: CN200680031557.5申请日: 2006-08-17
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公开(公告)号: CN101253331A公开(公告)日: 2008-08-27
- 发明人: 阿洛伊斯·格雷文 , 克里斯蒂安·哈里希
- 申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
- 申请人地址: 德国科隆
- 专利权人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
- 当前专利权人: 莱宝有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国科隆
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 张文; 张春水
- 优先权: 102005041501.6 2005.09.01 DE
- 国际申请: PCT/EP2006/065384 2006.08.17
- 国际公布: WO2007/025865 DE 2007.03.08
- 进入国家日期: 2008-02-28
- 主分类号: F04D19/04
- IPC分类号: F04D19/04 ; F04D27/02 ; H02P6/16 ; H02P6/18
摘要:
本发明涉及一种真空涡轮分子泵(10),其通过具有定子线圈和永磁电机转子的无电刷驱动电机(16)驱动。电机转子在旋转时产生与旋转方向相反的电动力。设有与定子线圈连接的电机控制装置(22),其从供电电压产生引入定子线圈的电流。此外设有旋转频率调节器(32),其将驱动电机(16)的旋转频率(f)限制于额定旋转频率(fN)。设有电源(20),其与电机控制装置(22)连接并提供恒定的直流电压作为电机控制装置(22)的供电电压。电源(20)设计成使得恒定的供电电压(UV)这样低地选择,从而在极限旋转频率(fG)时电动力等于由电机控制装置(22)和定子线圈可产生的最大驱动力,其中极限旋转频率(fG)小于额定旋转频率(fN)的1.3倍。由此电机功率受到限制并将驱动电机(16)的旋转频率在物理上可靠地限制于极限旋转频率(fG)。
公开/授权文献
- CN101253331B 真空涡轮分子泵 公开/授权日:2010-05-26