形成纳米结构的方法和纳米结构
摘要:
公开了一种形成纳米结构的方法和纳米结构。提供第一嵌段共聚物。提供具有高能中性表面层的衬底,该表面层具有至少一个整体布置在其上的沟槽,该沟槽具有侧壁。在沟槽内部形成第一嵌段共聚物的第一膜。组装第一嵌段共聚物的成线微畴,并且在第一膜内形成第一自组装结构,该第一自组装结构与侧壁垂直而与表面层平行。从第一膜中去除至少一个微畴,使得取向结构保留在沟槽中,其中该取向结构垂直于侧壁而与表面层平行。提供第二嵌段共聚物。在沟槽内形成第二嵌段共聚物的第二膜。组装第二嵌段共聚物的成线微畴,并在第二膜内形成第二自组装结构,第二自组装结构的取向为垂直于取向结构而与侧壁平行。
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