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一种导引式风向风速传感器
摘要:
本发明公开一种导引式风向风速传感器,包括:上盖板、下档体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器;利用微电子机械系统(MEMS)技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板;侧挡板;键合上盖板和侧挡板;在硅片上制作出下档体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器的图案;溅射制作出应变传感器;腐蚀技术制作出通孔和悬臂梁阵列;键合制作的风向导引组件与风敏感组件两部分。这种传感器的特点是风向风速可以同时测量,并可利用微电子机械系统(MEMS)技术将器件制作得很小,可以小于10毫米×10毫米×10毫米。该传感器可以广泛应用于气象探测、环境监测、国防、交通运输等方面。
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