发明授权
CN101271164B 一种导引式风向风速传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种导引式风向风速传感器
- 专利标题(英): Guiding type wind direction and wind velocity sensor
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申请号: CN200710064605.7申请日: 2007-03-21
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公开(公告)号: CN101271164B公开(公告)日: 2011-07-06
- 发明人: 赵湛 , 张建刚
- 申请人: 中国科学院电子学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: G01P5/02
- IPC分类号: G01P5/02 ; G01W1/02 ; G01P13/02 ; B81B7/02
摘要:
本发明公开一种导引式风向风速传感器,包括:上盖板、下档体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器;利用微电子机械系统(MEMS)技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板;侧挡板;键合上盖板和侧挡板;在硅片上制作出下档体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器的图案;溅射制作出应变传感器;腐蚀技术制作出通孔和悬臂梁阵列;键合制作的风向导引组件与风敏感组件两部分。这种传感器的特点是风向风速可以同时测量,并可利用微电子机械系统(MEMS)技术将器件制作得很小,可以小于10毫米×10毫米×10毫米。该传感器可以广泛应用于气象探测、环境监测、国防、交通运输等方面。
公开/授权文献
- CN101271164A 一种导引式风向风速传感器 公开/授权日:2008-09-24
IPC分类: