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监测探针卡状态的方法
摘要:
本发明提供一种监测探针卡状态的方法,其步骤为:①首先在测试键各金属垫间设置阻值相同的电阻阵列,最左边的金属垫与最右边的电阻通过围绕测试键的两条金属线相连;②测金属垫I和金属垫II之间的电阻;③判断测到的电阻是否为正常值:如果是,则继续测金属垫II和金属垫III之间的电阻;如果不是,则报警,表明监测到附加电阻产生或电阻为零,可立即停止探针卡的使用,作适当检查,确保后续半导体测试的准确可靠进行;④重复以上步骤直到所有相邻金属垫之间测到的电阻都为正常值,表明探针卡没有任何问题;⑤进行正常的半导体电性测量。本发明采用新的测试键图形,通过对探针卡实时针测,实现快速监视探针卡状态,从而确保电性监测准确可靠。
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