发明授权
CN101275994B 监测探针卡状态的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 监测探针卡状态的方法
- 专利标题(英): Method for monitoring probe card state
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申请号: CN200710021077.7申请日: 2007-03-27
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公开(公告)号: CN101275994B公开(公告)日: 2010-08-04
- 发明人: 宋丰 , 王政烈
- 申请人: 和舰科技(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区星华街333号
- 专利权人: 和舰科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 和舰科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区星华街333号
- 代理机构: 南京苏科专利代理有限责任公司
- 代理商 陈忠辉; 姚姣阳
- 主分类号: G01R35/00
- IPC分类号: G01R35/00 ; G01R31/26 ; G01R27/00
摘要:
本发明提供一种监测探针卡状态的方法,其步骤为:①首先在测试键各金属垫间设置阻值相同的电阻阵列,最左边的金属垫与最右边的电阻通过围绕测试键的两条金属线相连;②测金属垫I和金属垫II之间的电阻;③判断测到的电阻是否为正常值:如果是,则继续测金属垫II和金属垫III之间的电阻;如果不是,则报警,表明监测到附加电阻产生或电阻为零,可立即停止探针卡的使用,作适当检查,确保后续半导体测试的准确可靠进行;④重复以上步骤直到所有相邻金属垫之间测到的电阻都为正常值,表明探针卡没有任何问题;⑤进行正常的半导体电性测量。本发明采用新的测试键图形,通过对探针卡实时针测,实现快速监视探针卡状态,从而确保电性监测准确可靠。
公开/授权文献
- CN101275994A 监测探针卡状态的方法 公开/授权日:2008-10-01