具有增强的热和器件性能的可堆叠晶片或管芯封装
Abstract:
本发明提供一种衬底,该衬底具有器件层(210,310)和金属化区(230,315)。在衬底内,提供了导电通孔(270,350)和导热区(260,365)。热传导区可通过到沟槽内的淀积或形成图样而形成。衬底可在堆叠设置中提供。
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