Invention Grant
- Patent Title: 用于研磨头的柔性膜
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Application No.: CN200710165597.5Application Date: 2007-11-22
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Publication No.: CN101293334BPublication Date: 2016-03-23
- Inventor: 史蒂文·M·苏尼加 , 安德鲁·J·纳甘盖斯特 , 吴正勋
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国
- Priority: 60/867,090 2006.11.22 US; 60/891,705 2007.02.26 US; 11/741,692 2007.04.27 US
- Main IPC: B24B37/04
- IPC: B24B37/04 ; B24B41/047 ; H01L21/304
Abstract:
本发明描述了一种具有底座组件、保持环组件、夹持环和柔性膜的研磨头。该柔性膜具有主要部分和外环形部分，其中该主要部分和该外环形部分之间的接合点包括外围边缘铰链和沿该外环形部分的外壁的铰链上方的凹陷。
Public/Granted literature
- CN101293334A 用于研磨头的柔性膜 Public/Granted day:2008-10-29
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